SiC陶瓷導(dǎo)軌常用于對(duì)精度、壽命或耐環(huán)境要求極高的自動(dòng)化設(shè)備，例如： 半導(dǎo)體設(shè)備：晶圓搬運(yùn)、曝光機(jī)、光刻設(shè)備等，要求極高精度和耐磨性。 精密機(jī)械臂：用于高負(fù)荷、高速、長(zhǎng)壽命的運(yùn)動(dòng)部件。 高溫/高腐蝕環(huán)境自動(dòng)化：如化工生產(chǎn)線、醫(yī)藥生產(chǎn)線、激光加工設(shè)備。 真空