精密陶瓷制造商
氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業生產加工企業
全國服務熱線
13412856568氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業生產加工企業
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| 產品名稱 | 氮化鋁陶瓷晶圓載盤 |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 可按圖紙定制 |
| 粗糙度 | 0.1μm |
| 材料成分 | 氮化鋁陶瓷 |
| 我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀！ |
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立即咨詢
0769-82913501 |
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氮化鋁晶圓載體是用于在半導體設備（如沉積、刻蝕或熱處理）步驟中運送晶圓的載體。它可以通過靜電吸附技術固定晶圓，防止晶圓翹曲變形。常見的有通用的12英寸300毫米氮化鋁晶圓載體和定制的氮化鋁晶圓載體。氮化鋁陶瓷具有超高導熱性、電絕緣性、無毒環保，還可以加工成復雜形狀（靜電吸盤、加熱器、夾具、臂等部件）。
我們是一家專業的超硬陶瓷材料制造商，在氮化鋁陶瓷加工方面擁有豐富的經驗。無論您需要為您的項目訂購板材、棒材、管材、晶圓載體、導熱板還是其他定制氮化鋁 (AIN) 組件，都可以聯系我們的專家進行免費咨詢，我們將竭誠為您提供服務。
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氮化鋁晶圓載體的主要特點
導熱系數高達170W/m·K，可有效為半導體器件散熱
絕緣性能良好，可防止靜電損壞器件
耐化學腐蝕，可在惡劣環境下使用
尺寸穩定性高，可精確定位
適用于精密加工，支持復雜形狀
無毒環保
